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泰晶科技某高精度光刻配套设备再创佳绩
2021-05-27 07:59:26   来历:    点击:

  泰晶科技最新研制的用于光刻工程的高精度配套设备—全主动晶圆调频及测选机,克日又获得新冲破,该设备合用于光刻晶圆频次调剂及分测,共同基于半导体手艺的光刻制程量产及品德晋升。这一设备的研制胜利,不只弥补了行业空缺,并且保证了关头性手艺的失密性,为公司正在停止的大范围扩产供给了更优的计划。

  该设备接纳特定的光谱代替原有光源,利用全新的测试线路及丈量体例,大幅进步了设备的精度及效力。今朝利用设备频次调剂精度可达±5PPM,及格率98.5%以上,各项目标到达国际进步前辈水平。具备自立常识产权的设备研发,使公司具备延续立异才能,颠末设备进级,可加工更小型的1毫米系列产物。

  该设备的研发胜利不只极大进步了产物品德及出产效力,并且设备机能上风获得日本同业的高度承认。今朝已托付多套给某环球闻名同业,获得该环球巨子同业的高度评估。

  早在十一年前,我司带领鼠目寸光,几近与环球巨子同步展开半导体光刻工艺在压电晶体行业的研讨,同时起头一系列相干设备的自立研制。几十道工序的半导体工艺关头设备,颠末近十代设想更新换代,已起头列装出产一线,一系列半导体光刻工艺设备随产物制程工艺同步研发,在高精度、主动化水平上不时进级优化。独占的设备自立研制才能,是我司产物、工艺、手艺等多学科高度集成、走在前线的表现,也是泰晶科技迈向环球头部计谋的主要保证。

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